特注製造ALD装置

R&Dおよび生産に用いられるフレキシブル基板に適したロール・ツー・ロールまたは回転式ALDシステム。お客様独自の要件に基づいて特注でお作りします。

世界で唯一商用化されているロール・ツー・ロールALDシステム。電池、太陽光、およびフレキシブル・エレクトロニクス向けの機能的ALD成膜。Genesis ALDはロール型基板の成膜や多機能用途に最適です。

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この回転式空間ALDツールがウェハ・プラズマ・バッチ処理に革命をもたらします。プリカーサのパルスとパージを行わないことで、基板は各種反応ゾーンおよびパージ・ゾーンを回り、比類のないスループットとシンプルさを実現します。

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