研究開発向け装置

Beneq R2

コンパクト、かつ拡張可能。13万ユーロで手に入る、ALD研究の完璧なパートナ。

R2 landscape

コンパクト、かつ拡張可能。ALD研究の完璧なパートナ。 

コンパクトな筐体に収められた高品質ALDリアクタ。性能と使いやすさを追求した徹底的な人間工学的設計。モジュール式のためアップグレードやメンテナンスが素早く行えます。

1. 標準の熱ALD設定(詳細は以下をご覧ください)。最終価格は、お客様の構成および拡張機能によって異なります。

お客様専用のR2を作る

  • 4つの液体ソース。標準では50mlのSwagelok社製容器を使用。
  • 枚葉式反応チャンバ
  • スペア・パーツおよび消耗品キット
  • 梱包し空港までCIPで出荷
  • 試運転および立ち上げ(3日間の現場作業を含む)

Contact us