コンパクト、かつ拡張可能。ALD研究の完璧なパートナ。
コンパクトな筐体に収められた高品質ALDリアクタ。性能と使いやすさを追求した徹底的な人間工学的設計。モジュール式のためアップグレードやメンテナンスが素早く行えます。
お客様専用のR2を作る
- 4つの液体ソース。標準では50mlのSwagelok社製容器を使用。
- 枚葉式反応チャンバ
- スペア・パーツおよび消耗品キット
- 梱包し空港までCIPで出荷
- 試運転および立ち上げ（3日間の現場作業を含む）
Beneq 
コンパクトな筐体に収められた高品質ALDリアクタ。性能と使いやすさを追求した徹底的な人間工学的設計。モジュール式のためアップグレードやメンテナンスが素早く行えます。