The Beneq factory in Espoo, Finland, where the world's first industrial ALD products were manufactured.

Beneq Oy:n tarina

Miljardi sekuntia suomalaista teollisuushistoriaa

Beneqin tarina kytkeytyy suomalaisen huipputeknologian ja teollisuuden historiaan niin monella tavalla, että on vaikea päättää, mistä kohtaa kertomus yrityksestämme pitäisi aloittaa. Aloitamme tällä kertaa vuodesta 1984.

1984 – ALD-tuotanto alkaa Espoossa ensimmäisenä maailmassa

Vuonna 1984 Lohja Oy rakensi Espoon Olarinluomaan uuden elektroniikkatehtaan (josta oli 28 vuotta myöhemmin tuleva Beneq Oy:n pääkonttori, mutta siihen palaamme myöhemmin tässä tarinassa). Uusi tehdas tarvittiin, koska Lohja suunnitteli aloittavansa täysin uudentyyppisten litteiden näyttöjen valmistuksen. Uudenlaiset ohuet näytöt teki mahdolliseksi ALD (Atomic Layer Deposition), atomikerrostusmenetelmä, jolla pystyttiin hallitusti käsittelemään erittäin pieniä materiaalimääriä.

Atomikerrostusmenetelmä ALD (alun perin nimeltään Atomic Layer Epitaxy, ALE) keksittiin Suomessa 1970-luvulla ja sitä oli ennen Lohja Oy:tä kehittänyt teollisuuskäyttöön toinen suomalainen monialayritys, Instrumentarium Oy. Kun Lohja osti Instrumentariumin ALD-kehityksen tulokset, teknologia löysi ensimmäisen teollisen käyttökohteensa: ohuet elektroluminenssinäytöt, joita alettiin myydä Lohja Oy:n tunnetulla Finlux-tuotemerkillä. Espoon tehtaassa valmistettuja näyttömoduuleja myytiin muun muassa Helsinki-Vantaan lentokentän lähtöaulaan, missä ne olivat käytössä lähtevien lentojen näyttötaulussa parikymmentä vuotta. Näyttöjen luotettavuudesta kertoo se, ettei yhtäkään näyttömoduulia tarvinnut lentokentällä koskaan vaihtaa.

30 vuotta myöhemmin samassa Espoon tehtaassa valmistetaan edelleen elektroluminenssinäyttöjen uudempia sukupolvia. Nyt näytöissä vain lukee Lumineq. Mutta palaamme siihenkin myöhemmin…

Finlux display modules at Helsinki Airport.
Finlux-näyttömoduuleja Helsinki-Vantaan lentokentällä.

Ensimmäiset ALD-pinnoituslaitteet syntyvät

Toinen suomalainen teollisuusjätti Nokia oli vuonna 1990 siirtänyt kaapelikoneiden valmistuksen sveitsiläisen Mailleferin kanssa perustettuun yhteisyritykseen. Kummallakin yrityksellä oli pitkä historia teollisten koneiden valmistuksessa. Nokia-Maillefer muutti vuonna 1998 nimensä Nextromiksi. Siellä tapasivat Beneqin kolme perustajaa, JP, Sampo ja Tommi, ja oppivat käytännön kautta, minkälaista oli suurten teollisuuslaitteiden suunnittelu ja valmistus.

Nextrom 1990-luvun lopussa ja 2000-luvun alussa oli kova kansainvälisen liiketoiminnan koulu. Yritys kasvoi erittäin nopeasti ja Nextromin laiteyksikön piti saada tuotettua monimutkaisia teollisia tuotantolinjoja vaativille asiakkaille hengästyttävällä vauhdilla. Monet uusista ratkaisuista jouduttiin testaamaan ensimmäistä kertaa vasta asiakasprojektien yhteydessä. Kaikki mukana olleet oppivat väkisinkin monimutkaisten laitteiden valmistusta, projektinohjausta ja tuotantoketjun hallintaa. Samalla alkaa kehittyä idea erillisestä business-yksiköstä, joka erikoistuisi teknologian kaupallistamiseen ja haastaviin laitetoimituksiin.

ALD-teknologiaa kehitettiin eteenpäin myös Mikrokemia-nimisessä yrityksessä, jonka Neste Oy oli perustanut 1987 pintakemian, katalyyttien ja aurinkokennojen tutkimusta varten. Mikrokemia myytiin myöhemmin hollantilaiselle puolijohdeyritykselle ASM Internationalille, minkä jälkeen siellä keskityttiin erityisesti ALD-teknologian puolijohdesovelluksiin.

Samanaikaisesti ALD-teknologiaan perustuvien näyttöjen valmistus jatkui Espoossa koko ajan. Tehdas oli Lohja Oy:n omistuksessa vuoteen 1993, jolloin se myytiin yhdysvaltalaiselle näyttöteknologiayritykselle Planar Systemsille. Planar jatkoi elektroluminenssinäyttöjen valmistusta, mutta alkoi myös myydä ulkopuolisille näyttötuotantoa varten kehitettyjä ALD-pinnoituskoneita.

2005 – Beneq perustetaan

Nyt pääsemme vihdoin tarinan osien yhtymäkohtaan.

Nextrom päivittää strategiaansa vuonna 2005 ja päättää keskittyä ydintoimintoihinsa. Hieman aikaisemmin perustettu kehitysyksikkö, jolle oli annettu tehtäväksi tuotteistaa uusien teollisten laitteiden kehitys, testaus, pilotointi ja kaupallistaminen, sopii Nextromin uusiin suunnitelmiin huonosti, ja tiimiläisille tarjoutuu mahdollisuus irrottaa teollistamispalvelut omaksi yrityksekseen.

Maaliskuussa 2005 kolme Nextromin työntekijää viettää pitkän viikonlopun Rukalla liiketoimintasuunnitelmaa tehden (hiihtämään ei loppujen lopuksi ehditty lainkaan) ja päättävät perustaa yrityksen. Viralliseksi perustamispäiväksi tulee 1.5.2005 ja yrityksen nimeksi tulee Beneq. Nimen synnystä on monta tarinaa, mutta taustalla on ajatus alkaa valmistaa erinomaisia laitteita, bene eq(uipment).

Beneqin ensimmäiset suunnittelijat ovat vanhoja ASM Microchemistryn insinöörejä, jotka olivat siirtyneet Nextromille muutamaa vuotta aiemmin, kun ASM siirsi laitevalmistuksensa Suomesta USA:han. Nextromilla heidän tehtävänään oli ollut kehittää ALD:n sukulaista, MCVD-menetelmää (Modified Chemical Vapor Deposition) optisten kuitujen varmistukseen.

Beneqin ensimmäisten suunnittelijoiden ALD-taustasta ja MCVD-teknologian ja ALD:n yhtäläisyyksistä johtuen ensimmäinen Beneqin myymä laite on ALD-pinnoituskone. Asiakas on mikro- ja nanoteknologiakeskus Micronova, joka on nykyään VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteinen tutkimuslaitos. Kaupat tehdään heinäkuussa 2005.

Beneq TFS 500
Ensimmäinen Beneqin valmistama kone - Beneq TFS 500, joka myytiin Micronovalle vuonna 2005.

Kansainvälinen alusta asti

Beneqin liiketoiminnasta tulee kansainvälistä alusta alkaen. Heti toinen laitetilaus tulee Aasiasta, Etelä-Koreasta. Projekti on paristakin syystä merkittävä Beneqin kehityksen kannalta.

Tilaus koskee aerosolipinnoituslaitteistoa, ja aerosoliteknologian ympärille kehittyy oma tuotelinja, jolla on ollut iso osa Beneqin kehityksessä. Vuonna 2006 Beneq vahvistaa aerosoliosaamistaan ostamalla lisäksi ABR Innova Oy:n aerosoliyksikön. Beneq myy aerosolipinnoituslinjoja edelleen ALD-laitteiden rinnalla. Niitä käytetään esimerkiksi pinnoituksiin, joilla estetään lasin ja aurinkokennojen heijastuksia.

Aerosolipinnoituslinjan toimitus Aasiaan vahvistaa kansainvälistä ajattelua Beneqillä ja todistaa tiimille, että pienikin yritys voi myydä monimutkaista teknologiaa maailman suurimmille asiakkaille, kunhan osaaminen on kunnossa ja ambitiotaso riittävän korkealla. Näin syntyy Beneqin sisällä edelleenkin vahvana vallitseva globaalin tekemisen kulttuuri. Vuonna 2016 Beneqin liikevaihdosta 98% tuli Suomen ulkopuolelta.

Aina ei ole ollut helppoa…

Beneq kasvoi nopeasti ja vuonna 2010, kun yhtiö täytti 5 vuotta, liikevaihtoa oli jo 10 miljoonaa euroa ja henkilöstöä 60. Jälleenmyyjäverkosto kasvoi ja omia myyntikonttoreita oli kolme: Saksassa, USA:ssa ja Kiinassa. Ensimmäisten pilottiasiakkaiden joukossa oli useita kansainvälisiä suuryrityksiä, kuten esim. Philips ja Asahi Glass.

Vaikeuksiakin oli. Beneq onnistui luomaan monia ainutlaatuisia ohutkalvotuotteita ja pinnoitusprosesseja ja rikkoi ALD-pinnoitteiden maailmanennätyksiä, mutta kaikki uudet konemallit eivät olleet myyntimenestyksiä.

Myös osa alkuaikojen strategisista valinnoista osoittautui virheellisiksi. Beneq lähti rohkeasti viemään ALD-teknologiaa uusille tuote- ja markkina-alueille, ja vaikka uusi ratkaisu usein tunnustettiin paremmaksi kuin kilpailevat teknologiat, asiakkaat olivat konservatiivisia eivätkä varovaisuuttaan halunneet lähteä ensimmäisenä kokeilemaan uutta. Vaikka tahtoakin olisi ollut, asiakkaan taloudellinen tila ei aina sallinut uusia riski-investointeja. Beneqin väki oppi kantapään kautta, ettei pelkkä erinomainen teknologia riitä kasvun varmistamiseen.

Beneq TFS 1200 - World record in ALD subsrate size.
Beneq TFS 1200 - maailmanennätys ALD-pinnoitteen koossa.

…mutta myös menestystä on tullut paljon

Osasta Beneqin ensimmäisten vuosien laitemalleista on kuitenkin tullut suosittuja. Esimerkiksi vuonna 2007 julkistettu Beneq TFS 200 -tutkimuslaitteisto on edelleen yrityksen myydyimpien tuotteiden joukossa. Beneq sai myös jo niinkin aikaisin kuin vuonna 2006 myytyä ensimmäiset ALD-pinnoituslaitteet teollisille asiakkaille (ensimmäinen oli Beneq TFS 500, jonka Kalevala Koru osti hopean pinnoitukseen). Tuohon aikaan muut ALD-laitevalmistajat myivät koneita pelkästään tutkimuskäyttöön.

Ensimmäiset teolliset pinnoitusratkaisut korostivat yhteistyön tärkeyttä. Uusia tuotteita kehitettiin asiakkaiden kanssa ideasta tuotantoon asti ja matkalla opittiin paljon sitä, miten teolliset pinnoitusratkaisut kannattaa toteuttaa. Samalla tuli todistettua, että Beneqin strategian kulmakivinä toimiville teollisille ALD-ratkaisuille sekä pinnoitus- ja kehityspalveluille on kysyntää.

Beneq on myös vastaanottanut monia palkintoja. Vuonna 2008 Beneq valittiin Suomen parhaaksi kasvuyritykseksi Helsingin Sanomien järjestämässä kilpailussa. Vuonna 2009 Cleantech Group and Cleantech Scandinavia valitsivat Beneqin 50 lupaavimman cleantech-yrityksen listalle, vuonna 2011 Beneq sai Red Herrings Global Top 100 -palkinnon, jne. Palkinnot ovat omalta osaltaan motivoineet Beneqiä jatkamaan valitulla tiellä.

Yksi merkittävimmistä Beneqin saamista kunnianosoituksista on vuonna 2011 vastaanotettu tasavallan presidentin kansainvälistymispalkinto. Itse asiassa, Beneq on todennäköisesti ainoa yritys, jonka pääkonttorin aulassa on noita palkintoja kaksi. Myös Planar Systems sai nimittäin tasavallan presidentin vientipalkinnon (palkinnon aiempi nimi) jo vuonna 1996.

Beneq receives the the Internationalization Award of the President of the Republic of Finland.
Beneq sai tasavallan presidentin kansainvälistymispalkinnon vuonna 2011.

Muutto ALD:n syntysijoille

Beneqin ja Planar Systemsin läheinen yhteistyö alkoi, kun Beneq osti vuonna 2007 Planarin ALD-liiketoiminnan ja ensimmäiset Beneqin työntekijät muuttivat Espoon näyttötehtaaseen. Siitä alkoi Beneqin pinnoituspalveluiden kehitys. Nykyään pinnoitteisiin liittyvä palveluliiketoiminta on merkittävä osa Beneqin strategiaa ja tarjoaa mainion tavan löytää uusia käyttökohteita ALD:lle sekä mahdollisuuden kasvaa asiakkaiden mukana, kun tutkimusprojekteista kasvaa uusia teollisia sovelluksia.

Vuonna 2012 Beneqillä tapahtui paljon. Beneq osti silloin Planarilta koko Espoon näyttöliiketoiminnan ja lanseerasi uuden Lumineq-brändin tehtaan tuottamille kestäville elektroluminenssinäytöille. Samalla Lohja Oy:n 80-luvulla rakentamasta tehtaasta tuli Beneqin pääkonttori. Merkittävä osa suomalaista teollisuushistoriaa siirtyi näin takaisin suomalaiseen hallintaan. Ympyrä sulkeutui.


2012: Beneq lanseeraa Lumineq-tuotemerkin kestäville elektroluminenssinäytöille.

33 vuotta ja edelleen voimissaan

Edellä kerrottu selittänee, miten juuri ja juuri teini-ikäisellä Beneqillä voi olla yli 30 vuoden kokemus ALD-pinnoitteista ja teollisesta tuotannosta. Seuraavaksi selitämme, miksi olemme tämän tarinan otsikossa mitanneet talon historian sekunneissa.

Beneqin tehtaalla Espoossa vieraillessaan moni kiinnittää huomiota tikittävään ääneen, joka kuuluu puhdastilassa, jossa sijaitsevat Beneqin 40 ALD-pinnoituskonetta. Äänen syynä ovat pinnoituslaitteiden kaasupulssit, jotka levittävät pinnoitettavien kappaleiden päälle materiaalia ohuenohuina pintoina, atomikerros kerrallaan. Tik. Tik. Tik.

Pulssien välinen aika (tik-äänestä seuraavaan) mitataan sekunneissa; yksi kaasupulssi läpäisee tyypillisesti koneen kammion muutamassa sekunnissa. Muutama vuosi siten joku tuli tehtaan halki kulkiessaan kysyneeksi, montako pulssia mahtuisi koko tehtaan pitkään historiaan. Kuinkahan paksu pinnoite ehtii syntyä 33 vuodessa?

The Home of ALD - Beneq headquarters and factory in Espoo, Finland.
Teollisen ALD:n synnyinkoti - Beneqin tehdas ja pääkonttori Espoon Olarinluomassa.

Sehän piti talon teknisten asiantuntijoiden tietenkin heti laskea. Talo on – kuten ehkä valistunut lukija saattaa jo tässä vaiheessa arvata – hieman yli miljardi sekuntia vanha. Kun tehtaalla olevaa Beneq P400 -pinnoituslaitteistoa käytetään tavalliseen Al2O3-alumiinioksisipinnoitteeseen (joita käytetään esimerkiksi elektroniikan kosteussuojauksiin), normaali pinnoitussykli (kaksi pulssia) on noin 5 sekuntia. Kone olisi siis tehtaan historian aikana ehtinyt tuottaa 200 miljoonaa atomikerrosta uutta pintaa.

200 miljoonaa ALD-kerrosta on paljon, mutta jotta saisimme paremman kuvan Beneqin pinnoitteiden ohuudesta, jatketaan laskemista: Yksi atomikerros pinnoitusprosessissa on paksuudeltaan noin 0,1 nanometriä, ja yksi nanometri on metrin miljardisosa. 200 miljoonan atomikerroksen muodostama pinta olisi siis vain 2 senttiä paksu. 2 cm pinnoitetta 33 vuodessa! Ohuemman maailman rakentaminen vaatii kärsivällisyyttä.

Beneq P-Series ALD equipment at the Home of ALD.
Beneqin P-sarjan ALD.-pinnoituskoneita Espoon tehtaan puhdastilassa.

Beneqin strategia

Beneqille on alusta asti ollut selvää, että uusien teollisten sovellusten kaupallistaminen on haastavaa. Usein on pitänyt tehdä asioita, joita kukaan muu maailmassa ei tee – eikä ole edes uskaltanut yrittää. Kun Beneq päätti vuonna 2005 keskittyä viemään ALD-teknologiaa tutkimuslaboratorioista teollisuuteen, monet alan asiantuntijat väittivät, että teknologia olisi siihen liian hidasta ja kallista. Isoja pinta-aloja pinnoittavia ALD-koneita, kuten Beneq TFS 1200, ei olisi mahdollista tehdä. Se ei kuitenkaan Beneqiä estänyt.

Ajatus siitä, että teknologiayrityksessä on koko ajan etsittävä osaamiselle uusia sovelluskohteita, on juurtunut syvälle Beneqin kulttuuriin, mutta yhtä tärkeää on aina ollut, että löydetyt ratkaisut ovat vietävissä teolliseen tuotantoon. Asiakkaan lopputuotteiden parantaminen on päätavoite, oli kyseessä sitten OLED-näyttöjen eliniän pidentäminen, tehokkaammat aurinkokennot tai vaikkapa läpinäkyvien näyttöjen avulla aikaansaatu ergonomisempi ohjaamo.

Yrityksen strategian perusta ja asenne työhön Espoon tehtaalla on tänäkin päivänä sama kuin Beneqin ensimmäisinä vuosina (ja Lohja Oy:n ja Mikrokemiankin alkuaikoina – monet sen ajan pinnoituspioneereista ovat yhä Beneqillä töissä): Viemme uusia innovaatioita labrasta tehtaaseen, tutkimusosastolta tuotantoon, ideoista kaupallisiksi sovelluksiksi. Tästä syystä Beneqille on kertynyt matkan varrella myös iso patenttisalkku.

Kohti seuraavia mahdottomia haasteita

Uskomme Beneqillä, että kaikkeen on olemassa ohut ratkaisu. Ja jos joku väittää, että ratkaisua on mahdoton löytää, se vain motivoi meitä eteenpäin. Miljardissa sekunnissa tehtaamme – teollisen ALD:n synnyinkoti – on nähnyt valtavan määrän haastavia projekteja, uusia innovaatioita ja taitavia ihmisiä. Lopputuloksena Espoossa on nyt maailman mittakaavassakin ainutlaatuinen nanoteknologian osaamiskeskittymä.

Seuraavat miljardi sekuntia suomalaista teollisuushistoriaa odottavat tekijäänsä. Me Beneqillä olemme valmiina.

Tik. Tik. Tik.

Contact Beneq

Contact Beneq