倍耐克TFS 200

原子层沉积研究设备与您共同发展

TFS 200是适合科学研究和企业研发的最灵活的ALD平台。倍耐克 TFS 200专门设计用于多用户研究环境中把可能发生的交叉污染降至最低。 大量的可用选项和升级意味着倍耐克TFS 200将与您一起成长,以满足最高要求的研究需求。

倍耐克TFS 200不仅可以在平面物体上镀膜,而且还适用于粉末,颗粒,疏松多孔的基体材料,或是有较高深宽比的复杂的三维物体。 直接和远程等离子体沉积(PEALD)可以作为TFS 200的标准选项。 离子体是工业化标准的电容性耦合等离子体(CCP)。 CCP等离子体选件可为直径达200mm,面朝上或面朝下的衬底提供直接和远程等离子体沉积ALD(PEALD)。

  • 循环周期小于2秒。在特定的条件下可以小于1秒
  • 高深宽比(HAR)选项适用于较深沟槽和多孔的基底材料
  • 可以快速加热和冷却的冷壁真空腔
  • 安装在真空腔的辅助接口可以实现等离子体和在线诊断
  • 手动传送臂可以快速更换基底材料,而且可以和其他设备配合使用

您可以在我们的产品和与升级页面上找到有关倍耐克TFS 200可用选项的更多信息。
如果您已经拥有倍耐克TFS 200反应腔,并希望获得有关产品的报价,请填写倍耐克TFS 200产品报价表

 

 

技术规格

基底材料温度  25 - 500 °C
 反应腔类型和尺寸

单硅片:ø200 × 3 (mm)
单硅片等离子工艺:ø200 × 3 (mm)
三维物体/批量硅片:ø200 × 95 (mm)
定制反应腔:根据客户的要求

气体管道 最多 8 路
常温液体源 (+5 °C 至 室温) 最多 4 路
热源 HS 300 (室温至 300 °C) 最多 4 路
热源 HS 500 (室温至 500 °C) 最多 2 路
等离子体源规格 (PEALD)  - 功率: 300 瓦
 - 类型:电容性耦合等离子体(CCP)

流化床颗粒镀膜选项
- 颗粒尺寸 (最小)1 : 100 nm - 1 μm
- 样品量 (最大):50 - 75 cm3
- 温度 (最大) : 450 °C
控制系统 PLC 控制器 和PC 用户界面
 ALD系统主要尺寸 (长 × 宽 ×高)  1325 × 600 × 1298 (mm)
 电气柜主要尺寸 (长 × 宽 × 高)  1000 × 300 × 1600 (mm)

1 取决于颗粒的特性。

联系我们获得更多信息

 

 

Contact Beneq

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Application examples

  • Ultimate moisture barriers for OLED micro-displays from Beneq
  • Lumineq EL40S electroluminescent display by Beneq
  • Transparent electrode for displays by Beneq ALD
  • ALD is the ultimate moisture barrier for PCBs
  • Beneq FBR ALD reactor for moisture barriers of phospor powder
  • Beneq ALD coatings offer protection against corrosion in LED packaging.
  • Beneq aerosol thin film equipment is ideal for AR coatings on solar glass.
  • Beneq ALD provides metal-like coatings for watch parts and fine mechanics.
  • Beneq ALD coatings for wafer-level moisture protection
  • Beneq ALD coatings provide high-quality reflectors for LED
  • Beneq ALD coatings boost the performance of diffractive gratings
  • Beneq provides ALD coatings to protect electronics components from corrosion
  • ALD coatings provide interface layers between materials in CIGS panels.
  • Beneq ALD coatings increase the lifetime of Li-Ion batteries
  • ALD is ideal for optical filters on complex surfaces.
  • Beneq ALD optical coatings increase the lifetime of high power lasers
  • ALD-based conformal moisture barrier coatings for microchannel plates from Beneq.
  • OLED lighting encapsulation with Beneq TFS 600. Fully automated and vacuum-line integrated. For industrial OLED encapsulation.
  • X-ray imaging scintillator plate encapsulation with Beneq Coating Services and Beneq P800 batch coating products

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